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      大平臺顯微激光拉曼光譜儀

      SKU: FM-Op- Ra-MX

      產品介紹

           產品簡介:

         本儀器是一款可以對樣品進行目鏡觀察、相機成像、拉曼光譜檢測以及拉曼光譜成像等功能的集成化拉曼光譜儀。

      儀器由拉曼光譜儀、拉曼共焦模塊、大平臺檢測顯微鏡等構成。

      特點:

      1.全新的MX大平臺檢測顯微鏡,最大支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查,含4、6、8、12英寸多種轉盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。

      2.可以同時插入三個不同波長的拉曼光譜儀檢測模塊,并且可在軟件上進行不同光譜儀間的切換,即可實現多波長拉曼的快速自動檢測。

      3.可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多個波長,且可搭配不同性能的光譜儀,如非制冷、制冷、深度制冷等,以滿足客戶對不同樣品、檢測精度的不同需求。

      4.若選配自動平臺,還可以實現自動點掃描進行高光譜成像。

      技術參數

      顯微鏡參數:

      光學系統

      無限遠光學系統

      調焦機構

      粗微動同軸調焦,微動格值:1微米

      最大行程:35mm

      目鏡

      大視野(視場數25mm)

      物鏡轉器

      六孔轉換器

      物鏡

      5X、10X、20X、50X、100X

      無限遠明暗場半復消金相物鏡

      載物臺

      平臺面積:718X420

      移動范圍:356X305

      帶離合器手柄

      電動平臺

      平臺面積:495X641

      移動范圍:306XXI06

      重復精度:(3+L/50)um

      照明系統

      明暗場反射照明器

      內置視場/孔徑光欄

      帶濾色片與偏光裝置插槽

      三目鏡筒

      瞳距55mm-75mm,

      CCD適配鏡

      0.5X C-mount

      分光比:50/50,100/0,0/100

      觀察方式

      明場、暗場、偏光、DIC

      其它

      高精度測微尺

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

      包裝清單


        拉曼光譜儀參數:

      拉曼光譜范圍

      200-3600cm-1

      分辨率

      <15cm-1@25μm slit

      激光器

      532±1nm,線寬≤0.2nm

      激光功率穩定性

      ≤3% P-P(@2hrs)

      輸出功率

      0-100mW 可調

      濾光片激光截止深度

      OD8

      工作溫度

      0-40℃

      工作濕度

      5-80%

      激光器壽命

      5000hrs


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