三維測量顯微鏡

SKU: FM-3D-MM

產品介紹

產品簡介：

表面微觀三維結構測量，表面三維粗糙度非接觸測量

檢測對象：

精密光學元件，微納加工器件，金屬機加工零件

面向行業：

半半導體，汽車，太陽能，精密光學等從事表面分析的各類科研院所及企業

技術參數：

1.縱向測量重復性: 0.5nm （PSI 模式）縱向分辨率： 2nm

2.縱向測量范圍：15mm

3.高度測量示值誤差： <3%

4.配備超高橫向分辨率測量功能（橫向分辨 100nm）

5.豐富的三維特征分析軟件和粗糙度分析功能

6.采用抗震性硬件結構和軟件算法設計

測量實例

VLSI納米臺階標準塊三維測量結果磨削加工表面三維微觀結構測量

VLSI納米臺階標準塊三維測量結果.jpg 磨削加工表面三維微觀結構測量.jpg


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