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鏡面外觀缺陷檢測系統
產品介紹產品簡介： 晶圓、基片及精密光學元件表面缺陷自動篩查和量測 檢測對象： 晶圓片、蓋板、基片、精密光學元件（平晶，棱鏡，玻片等） 面向行業： 半導體晶圓生產、3C蓋板及光學基片、光學拋光加工
技術參數技術參數： Ø 缺陷最大檢測口徑300X200mm （覆蓋8寸晶圓，可訂制12寸晶圓機臺） Ø 缺陷檢測分辨率最高0.5um Ø 缺陷檢測類型： 麻點、劃痕、紋理、異色、破邊等 Ø 自動缺陷識別及尺寸量測 Ø 手動上下片，支持半自動和自動上下片的開發 Ø 技術特點 Ø 采用多模式成像確保各種不同類型的缺陷能夠被檢測 Ø 可以按照20/10、40/20、60/40標準對缺陷進行量測判定 Ø 軟硬件可以按照實際樣品檢測需求進行訂制 可附帶增加檢測基片三維翹曲功能 ◆ 測量實例
麻點和劃痕 表面紋理 |
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FM-AR532/AR785原子力顯微鏡與激光拉曼光譜儀一體機 對納米材料表面形貌、顆粒度、粗糙度和拉曼光譜性能進行表征、分析 |
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FM-Nanoview1000AFM 分體式原子力顯微鏡 帶光學定位的CCD觀測系統，實時觀測與定位探針樣品掃描區域 |
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FM-Nanoview6800一體式原子力顯微鏡 開啟全民原子力顯微鏡時代，掃描范圍更廣，定位更精確 |
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自由曲面三維面型檢測系統 |
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原子力顯微鏡（環境控制型）FM-Nanoview EC-AFM |
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原子力顯微鏡光學一體機 FM-Nanoview Op-AFM |
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