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      雙探頭表面三維形貌分析系統

      SKU: FM-DP-3D

      產品介紹

      產品介紹:

        采用彩色激光共焦技術,可實現對材料表面微米、次微米級粗糙度檢測,并且可以進行2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析,具有測量精度高,速度快,重復性好的優點。

          該系統可用于測量大尺寸樣品,軟件功能含括了點測量、線測量、面測量等強大的功能,可選模塊包括2D&3D粗糙度檢測與分析、2D輪廓測量與3D形貌分析、平面度檢測、共面度檢測、平行度檢測等。

      本系統特點:

      一、采用傳動裝置:直線磁軸電機驅動

      二、專業集成設計

      三、豐富的三維計測

      四、多樣的三維觀察

       

      技術參數

      技術參數:

       

      探頭A

      探頭B

      工作距離

      11mm

      19mm

      量程

      ±190um

      ±1700um

      最大傾角

      ±28°

      ±21°

      光斑尺寸

      10um

      20um

      分辨率

      10nm

      40nm

      精度

      ±0.02%F.S.

      ±0.02%F.S.

      最小厚度測量

      12um

      66um

      最大厚度測量

      511um

      5098um

      電動臺參數:

      XY平臺

      驅動

      直線磁軸電機

      平臺大小

      220X230mm

      XY方向行程

      100X100mm

      分辨率

      0.05μm

      重復定位精度

      <1μm

      最大允許負重

      2Kg

      掃描速度

      ≤80mm/s

      掃描間距

      ≥0.5μm

      電氣特性

      控制器(專用電腦)額定輸入

      100-240V AC 5.3A 50/60Hz

      驅動器(專用機箱)額定輸入

      48V DC 2.1A

      傳感器輸入

      24V DC 3A


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