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      原子力顯微鏡光學一體機 FM-Nanoview Op-AFM

      SKU: FM-Nanoview Op-AFM

      產品介紹

       

       

       光學金相顯微鏡原子力顯微鏡一體化設計,功能強大

       同時具備光學顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能,兩者可同時工作,互不影響

       同時具備光學二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能

       激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體,結構非常穩定,抗干擾性強
       精密探針定位裝置,激光光斑對準調節非常簡便
       單軸驅動樣品自動垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描
       馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品

       超高倍光學定位系統,實現探針和樣品掃描區域精確定位
       集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優于98%

       

      技術參數

       

      工作模式 接觸模式、輕敲模式 光學目鏡 10X
      選配模式 摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力 照明方式 LED柯勒照明系統
      力譜曲線 F-Z力曲線、RMS-Z曲線 光學調焦 粗微動手動調焦
      XY掃描范圍 50×50um,可選20×20um,100×100um 攝像頭 500萬像素CMOS傳感器
      Z掃描范圍 5um,可選2.5um,10um 顯示屏 10.1寸平板顯示器,帶圖像測量功能
      掃描分辨率 橫向0.2nm,縱向0.05nm 掃描速率 0.6Hz~30Hz
      樣品尺寸 Φ≤68mm,H≤20mm 掃描角度 0~360°
      樣品臺行程 25×25mm 運行環境 Windows XP/7/8/10操作系統
      光學物鏡 5X/10X/20X/50X平場復消色差物鏡 通信接口 USB2.0/3.0

       應用案例 

         GaN襯底掃描范圍3µm×3µm.png      單晶硅金字塔.png  掃描范圍30µm×30µm.png

       

                 GaN襯底/掃描范圍3µm×3µm                                              單晶硅金字塔/掃描范圍30µm×30µm

       

          微米光柵.png         MoTe.png    掃描范圍16µm×16µm.png

          微米光柵/掃描范圍30µm×30µm                                                MoTe/掃描范圍16µm×16µm

      包裝清單

       


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