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CMY-420科研級三目正置大平臺金相顯微鏡半導體晶圓材料分析無限遠光學系統系統配置了大尺寸、大范圍移動載物臺，適合大工件的檢查

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產品介紹

特點：

1、采用優良的無限遠光學系統成像清晰并配有直徑22mm的大視野目鏡。

2、系統配置了大尺寸、大范圍移動載物臺，適合大工件的檢查。

3、兩路光路自由切換輸出，一路用于觀察，一路連接攝像裝置。

4、配置了偏光裝置并可選配暗場、微分干涉裝置，拓展了功能

技術參數

顯微鏡參數：

序號	名稱	技術參數
1	平場目鏡	大視野 WF10X(Φ22mm)
2	無限遠長距平場物鏡	PL L5X/0.12 工作距離：26.1 mm PL L10X/0.25 工作距離：20.2 mm PL L20X/0.40 工作距離：8.80 mm PL L50X/0.70 工作距離：3.68 mm PL L80X/0.80 工作距離：1.25 mm
3	總放大倍數	50X-800X
4	觀察頭	三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進行切換)
5	轉換器	五孔 (外向式滾珠內定位)
6	粗微調調焦范圍	粗微動同軸調焦, 微動格值0.7μm, 粗動松緊可調,帶鎖緊和限位裝置
7	載物臺	機械式載物臺，外形尺寸：280mmX270mm，移動范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm
8	光瞳距離	53-75mm
9	濾色片	(黃、藍、綠、磨砂玻璃)濾色片轉換裝置
10	偏光裝置	推拉式檢偏器與起偏器
11	落射照明系統	6V30W鹵素燈,亮度可調內置視場光欄、孔徑光欄
11	落射照明系統
12	儀器重量	凈重11.0公斤毛重12.5公斤
13	儀器尺寸	儀器尺寸44X45X42（cm）包裝尺寸45X50X50(cm)

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