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      CM120BD研究級12寸大平臺半導體檢查顯微鏡 采用明暗場半復消物鏡,配置12寸大平臺,帶快速移動裝置,配置有偏光裝置

      SKU:

      產品介紹

       產品概述

      研究級12寸大平臺半導體檢查顯微鏡CM120BD廣泛應用于芯片/晶圓/LCD,粒子爆破檢查等行業使用。采用半復消技術,集明場,暗場及偏光等多種照明方式,任何觀察都能呈現清晰銳利的顯微圖像,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美。用戶可根據實際應用進行功能選擇,是工業檢測的有效工具。特別是針對線路板切片測量,晶圓檢測,金相材料,高分子材料等尺寸較大的樣器進行分析檢測,本機配備了偏振系統可做偏光檢測,在半導體和PCB檢測中,可消除雜光,細節更加清晰。同時可以選配DIC干涉附件插入DlC棱鏡,可進行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術可以使物體表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果,大幅提高圖像對比度,特別適合觀察導電粒子。

      性能特點

      1、采用明暗場半復消物鏡,成像清晰。

      2、配置12寸大平臺,帶快速移動裝置。

      3、配置有偏光裝置,適合觀察高反光材料的表面;

      技術參數

       顯微鏡參數

      序號

      名稱

      技術參數

      1

      平場目鏡

      正像大場高眼點目鏡PL10X/25mm

      2

      物鏡

      無限遠長工作距明場半復消色差金相物鏡2.5X NA0.08 WD9.2 (選購)

      無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡5X NA0.15 WD15

      無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.4

      無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡20X NA0.40 WD11.9

      無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0

      無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0(選購

      3

      光學放大倍數

      50X-500X(選購100倍物鏡后放大倍數25-1000X

      4

      數碼放大倍數

      75-3000X(搭配1200萬相機及100倍物鏡,顯示器22英寸情況下)

      5

      觀察頭

      鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=1000

      6

      轉換器

      5孔明暗場物鏡轉換器(帶DIC插槽).

      7

      調焦機構

      反射用機架, 低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。

      8

      載物臺

      12英寸載物臺,平臺面積 760*430mm,玻璃臺面310*418mm,移動行程:300mmX300mm機械平臺,X、Y方向同軸調節;含快速移動裝置

      9

      晶圓轉臺

      12寸通用晶圓轉臺(選購)

      10

      偏光組件

      起偏鏡插板,360°旋轉式檢偏鏡插板

      11

      反射照明系統

      明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調,帶濾色片插槽,帶起偏鏡/檢偏鏡插槽,10W可調LED燈室,透、反射通用,預定中心

      13

      聚光鏡

      搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9

      14

      攝像接口

      0.65倍專用攝像接口

      15

      干涉組件

      諾曼爾斯基微分干涉片(選購)

      16

      顯微鏡工業相機

      高清1200萬顯微相機 2000萬像素或自動對焦相機(選購)

      17

      圖像處理軟件

      拍照,錄像,測量,實時圖像拼接,景深融合等(選購)

      18

      標尺

      高精度型測微尺,格值0.01m 總長1mm(選購)

       

       

       


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